MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)（MicroelectroMechanicalSystems）在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過40多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。隨著物聯(lián)網(wǎng)時代的逐步到來，傳感器現(xiàn)正被廣泛應(yīng)用于包括各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等在內(nèi)的眾多新興領(lǐng)域，需求量與日俱增。近幾年，我國物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展綜合增長率達到了30%以上，充分體現(xiàn)了其強勁的發(fā)展勢頭。

　　物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵技術(shù)之一便是傳感器技術(shù)，MEMS傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)中的各個領(lǐng)域。過去幾年中，MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩(wěn)步的增長。2017年，全球MEMS傳感器和執(zhí)行器總體市場規(guī)模為115億美元，其中MEMS傳感器為61億美元，增長17.3%，預計2018年，全球MEMS傳感器銷售額將增長10%以上，達到68億美元。目前，全球MEMS市場規(guī)模已經(jīng)逼近150億美元。

　　美國是MEMS產(chǎn)業(yè)、技術(shù)和產(chǎn)品的發(fā)源地，其發(fā)展水平世界領(lǐng)先。上世紀60年代，斯坦福等大學就從事MEMS領(lǐng)域的研究開發(fā)，佐治亞理工學院和美國加利福尼亞大學洛杉磯分校等眾多美國大學幾乎都建立有自己的MEMS晶圓生產(chǎn)線?，F(xiàn)在，越來越多的MEMS傳感器被應(yīng)用到手機中來提高手機用戶體驗。高端手機普遍裝配有加速度傳感器、壓力傳感器、陀螺儀、硅麥克風、指紋傳感器、距離傳感器，環(huán)境光傳感器、磁傳感器等數(shù)種MEMS產(chǎn)品。在可穿戴產(chǎn)品中，MEMS器件的應(yīng)用也越來越廣泛，如測量運動記錄步數(shù)的加速度傳感器、進行心率監(jiān)控的心率監(jiān)控傳感器、測量血氧值的血氧傳感器、感知海拔高度變化的氣壓傳感器等等?？梢哉f，慣性傳感器已經(jīng)成為了智能手機、平板電腦和可穿戴設(shè)備的標配，并且其他各種類型的MEMS傳感器在消費電子領(lǐng)域的應(yīng)用也正逐步普及。

　　目前，美國主要的MEMS傳感器公司有德州儀器（TI）、模擬器件（ADI）、飛思卡爾、樓氏電子（Knowles）、SiTime、惠普、IMT、SiliconMicrostructures（SMI）、GEInfrastructureSensing等。大部分半導體制造公司同時具有MEMS生產(chǎn)加工的業(yè)務(wù)。根據(jù)數(shù)據(jù)2017年全球MEMS傳感器銷售規(guī)模為61億美元，其中美國占比23.8%，即為14.5億美元。隨著人們生活應(yīng)用的不斷豐富，傳感器感測多個物理信號的功能需求也變的越來越多，多種傳感集成的MEMS器件也應(yīng)運而生。如今，慣性傳感器已經(jīng)出現(xiàn)了三軸、六軸、九軸甚至十軸的集成模塊，將MEMS加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起，以滿足生產(chǎn)廠商更小體積、更低成本的要求，同時給予了用戶更加豐富的用戶體驗。

　　2016年，法國知名市場研究機構(gòu)YoleDéveloppement提出了未來三大傳感器集成方向：密閉封裝集成傳感器、開放腔體集成傳感器和光學窗口集成傳感器。這三大集成方向無論從生產(chǎn)端還是用戶端，都在逐漸滿足越來越多新出現(xiàn)的需求，由此可見，多傳感集成已經(jīng)成為未來MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一種必然趨勢。

　　在運動員的日常訓練中，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，對每一個動作進行記錄，教練們對結(jié)果分析，反復比較，以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術(shù)的進一步發(fā)展，MEMS傳感器的價格也會隨著降低，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用?！　≡诨┓矫?，3D運動追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力，除了可提供滑雪板的移動數(shù)據(jù)外，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此，安裝在沖浪板上的3D運動追蹤，可以記錄海浪高度、速度、沖浪時間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。

　　由于我國MEMS產(chǎn)業(yè)起步較晚，我國的MEMS傳感器產(chǎn)品多處于技術(shù)相對成熟、市場格局相對穩(wěn)定的傳統(tǒng)MEMS應(yīng)用領(lǐng)域，而新興領(lǐng)域的MEMS產(chǎn)品在測量精度、溫度特性、響應(yīng)時間、穩(wěn)定性、可靠性等方面與國外差距較大，尚未形成具有市場競爭力、較為完善的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)略顯單薄。

　　CW-76S工地揚塵傳感器（粉塵檢測儀）是賽納威環(huán)境科技自主研發(fā)的集空氣動力學、數(shù)字信號處理、光電一體化的高科技產(chǎn)品，主要應(yīng)用于檢測大氣中的粉塵質(zhì)量濃度（PM值），適用于建筑工地、城市網(wǎng)格化監(jiān)測、移動監(jiān)測等領(lǐng)域和場合，是大氣質(zhì)量檢測系統(tǒng)的核心模塊。