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關(guān)于微電子機(jī)械系統(tǒng)傳感器的介紹和應(yīng)用

Bosch Sensortec ? 來(lái)源:djl ? 2019-10-28 16:44 ? 次閱讀
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個(gè)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS傳感器!豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和成熟的生產(chǎn)技術(shù)讓Bosch成為全球領(lǐng)先的MEMS制造商!

MEMS究竟是什么

微電子機(jī)械系統(tǒng)傳感器(Micro-electro-mechanical systems)簡(jiǎn)稱MEMS傳感器,它是芯片形式的電子和機(jī)械硬件的組合。每個(gè)MEMS傳感器都由微型硅結(jié)構(gòu)組成,而這些硅結(jié)構(gòu)通過(guò)一種特殊的蝕刻工藝置入硅晶圓中。例如,在顯微鏡下,加速度傳感器的結(jié)構(gòu)看起來(lái)像以相對(duì)和互鎖模式排列的游絲狀梳子。其中一些精細(xì)的梳狀結(jié)構(gòu)僅有4微米——僅相當(dāng)于螞蟻腿直徑的十分之一。

MEMS傳感器可以探測(cè)世界,讓電子系統(tǒng)像器官一樣學(xué)會(huì)看、聽(tīng)、聞。想象一下:一個(gè)尺寸小于2毫米的元器件在數(shù)字世界中消失了,消失將產(chǎn)生什么影響? 突然間,智能手機(jī)圖片變得模糊不清,智能手機(jī)屏幕不再自動(dòng)旋轉(zhuǎn),發(fā)生碰撞時(shí)汽車安全氣囊無(wú)法被觸發(fā)……博世的MEMS傳感器已經(jīng)成為我們?nèi)粘I钪腥绱酥匾慕M成部分。

借助MEMS傳感器,無(wú)人機(jī)可以平穩(wěn)滑行,即使在風(fēng)中也精確可控;運(yùn)動(dòng)手環(huán)和智能腕表中可以計(jì)算步數(shù)、臺(tái)階數(shù)和卡路里。MEMS的微調(diào)接收器可測(cè)量溫度、氣壓、濕度甚至空氣質(zhì)量,有助于更有效地調(diào)控空調(diào)設(shè)備和通風(fēng)系統(tǒng)?;蛘?,當(dāng)辦公室開(kāi)會(huì)時(shí)間拖延時(shí),它們可以觸發(fā)智能手機(jī)提醒大家該去呼吸點(diǎn)新鮮空氣了。

它們是真正意義上的互聯(lián)世界和物聯(lián)網(wǎng)IoT)的關(guān)鍵技術(shù)。現(xiàn)如今我們已經(jīng)無(wú)法想象離開(kāi)這些芯片“小英雄”生活將會(huì)變成怎樣。

BOSCH MEMS

約25年前,博世研發(fā)出了MEMS技術(shù)所需的制造工藝。這仍是今天生產(chǎn)運(yùn)行的基礎(chǔ),整個(gè)制造過(guò)程耗時(shí)長(zhǎng)達(dá)14周,共需上百個(gè)步驟。這些微型傳感器在嚴(yán)格的無(wú)塵環(huán)境下制造,因?yàn)榧词故亲钚〉拇髿忸w粒物也會(huì)破壞其生產(chǎn)。一立方英尺的空氣約30升,可能最多只能含有一顆重達(dá)半微克的顆粒物。形象地說(shuō),這相當(dāng)于3.6億個(gè)浴缸里面的一個(gè)櫻桃核。

自1995年以來(lái),Bosch MEMS不僅能提供重要的安全舒適的功能,還有助于提高駕駛樂(lè)趣和駕駛熱情。如今,全球每輛新車中平均有五個(gè)博世的MEMS傳感器。

憑借2006年第一款用于消費(fèi)電子產(chǎn)品中的MEMS傳感器,博世在MEMS歷史上創(chuàng)造了另一個(gè)里程碑。如今,全球超過(guò)每?jī)刹恐悄苁謾C(jī)都使用Bosch MEMS傳感器。這讓在城市中導(dǎo)航變得更加容易。

MEMS傳感器是許多物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中現(xiàn)代技術(shù)系統(tǒng)和各個(gè)領(lǐng)域的感官機(jī)構(gòu),例如穿戴式設(shè)備、無(wú)人機(jī)、AR、VR和游戲控制器。通過(guò)Bosch MEMS傳感器,清潔機(jī)器人可幫助您每年節(jié)省40多個(gè)小時(shí)來(lái)獲取更多的樂(lè)趣!

作為機(jī)器和工件的人工感覺(jué)器官,MEMS傳感器在工業(yè)4.0中扮演著關(guān)鍵角色,它們可捕獲有關(guān)條件和性能的信息。在博世的帶領(lǐng)下,七家合作伙伴正在合作開(kāi)發(fā)連接生產(chǎn)的未來(lái)傳感器系統(tǒng)。

Bosch MEMS傳感器在持續(xù)不斷生產(chǎn):每天,博世都會(huì)生產(chǎn)超過(guò)400萬(wàn)個(gè)MEMS傳感器。

Bosch MEMS采用全面復(fù)雜的生產(chǎn)過(guò)程,最長(zhǎng)可達(dá)3.5個(gè)月!

Bosch MEMS傳感器連接非常緊密。

全球每?jī)刹恐悄苁謾C(jī)都在使用Bosch MEMS傳感器-這些小英雄廣泛用于平板電腦,穿戴式設(shè)備,無(wú)人機(jī),AR,VR,機(jī)器人技術(shù)和游戲設(shè)備。

自2013年以來(lái),MEMS傳感器豐富的經(jīng)驗(yàn)和出色的專業(yè)技術(shù)使博世成為全球領(lǐng)先的MEMS傳感器制造商。

Bosch MEMS傳感器非常節(jié)能,可延長(zhǎng)設(shè)備的電池壽命。

引人入勝的Bosch MEMS技術(shù):一些MEMS傳感器元件的尺寸僅為0.004 mm,對(duì)于人眼來(lái)說(shuō)幾乎是不可見(jiàn)的!

Bosch MEMS傳感器是車內(nèi)的忠實(shí)伴侶,它有助于提高車輛的安全性,舒適性以及駕駛樂(lè)趣。

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