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芯明天P12A壓電納米掃描臺在飛秒激光刻蝕中的應用

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2023-12-14 11:01 ? 次閱讀
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什么是飛秒激光?

飛秒激光是人類在實驗室條件下所能獲得最短脈沖的技術手段,是一種以脈沖形式運轉的激光,持續(xù)時間非常短,只有幾個飛秒(英語為femto second,簡寫為fs,1飛秒為1秒的一千萬億分之一),它比利用電子學方法所獲得的最短脈沖要短幾千倍。飛秒激光技術是近年來發(fā)展迅速的一種先進加工技術,具有極高的加工精度和速度,可以在各種材料表面進行微米至納米級別的刻蝕和加工。

飛秒激光的特點

1、飛秒激光是我們?nèi)祟愒趯嶒灄l件下能夠獲得的最短脈沖,它的精確度是± 5微米;

2、飛秒激光有非常高的瞬間功率,它的瞬間功率可達百萬億瓦,比全世界的發(fā)電總功率還要多出上百倍;

3、物質在飛秒激光的作用下會產(chǎn)生非常奇特的現(xiàn)象,氣態(tài)的物質、液態(tài)的物質、固態(tài)的物質瞬間都會變成等離子體;

4、飛秒激光具有精確的靶向聚焦定位特點,能夠聚焦到比頭發(fā)的直徑還要小的多的超細微空間區(qū)域;

5、用飛秒激光進行手術,沒有熱效應和沖擊波,在整個光程中都不會有組織損傷。

與傳統(tǒng)連續(xù)激光以及長脈寬納秒、皮秒激光相比,飛秒激光加工材料具有如下特點:

(1)峰值功率高,容易引起材料的解離。

(2)熱效應小,加工精度高,在材料精密加工方面有獨特的優(yōu)勢。

(3)應用范圍廣。

激光刻蝕原理與典型應用

1、基本原理介紹

激光蝕刻的基本原理是將高能量的激光束(一般為紫外線激光、光纖激光、飛秒激光等)聚焦在極小的光點上,照射到被加工的材料表面,激光束的能量轉化為熱能,使材料瞬間蒸發(fā),形成孔、槽等加工效果。

2、技術特征介紹:

以激光非接觸方式加工,高柔性、高速、無噪聲、熱影響區(qū)小、可聚焦至激光波長級的極小光斑等,在打眼、劃片、刻蝕、切割尺寸精度和加工質量方面,尤其是與某些材料(例如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”,可獲得無碳化效果的“冷加工”。

3、典型應用

1)玻璃材料激光刻蝕

再現(xiàn)性好,功率大,材料去除速度快,無化學腐蝕污染。ITO涂層激光刻蝕機是利用激光在ITO Glass和ITO Film表面進行ITO涂層刻蝕的精密設備。能在玻璃、PET、ITO鍍膜、多晶膜及其它氧化物薄膜上進行各種不同尺寸的高精度、高速刻蝕,可加工多種規(guī)格的電極。特別適合手機觸摸屏的電極蝕刻技術。

2)太陽能電池激光劃片

整體結構合理,切割速度快,精度高,功能齊全,性能指標穩(wěn)定可靠,故障率低,非接觸加工成品率高,適用范圍廣。

芯明天P12A壓電掃描臺應用于飛秒激光刻蝕

飛秒激光刻蝕通過精確控制激光的能量、脈寬、掃描速度等參數(shù),可以實現(xiàn)對金屬、玻璃等材質表面的精密加工和刻蝕。 相比于傳統(tǒng)的機械加工和化學腐蝕等加工方法,飛秒激光刻蝕具有更高的加工精度和速度,能夠實現(xiàn)更精細的圖案和更復雜的結構的加工。同時,由于激光加工為非接觸式加工,可以避免機械應力對材料的影響,降低了破損和誤差的可能性。

芯明天P12A系列壓電掃描臺可在飛秒激光刻蝕應用中與載物臺固定連接在一起,在控制信號作用下帶載金屬、玻璃等材料進行X、Z、XY、XZ、XYZ等多個維度的運動進行刻蝕,P12A系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器,對位置實時檢測并反饋到壓電控制器,控制器通過PID算法調整電壓修正位移,從而實現(xiàn)納米級高精度定位。

技術參數(shù)

型號 P12A.XYZ100
運動自由度 XYZ
驅動控制 3 路驅動
3 路傳感
標稱行程范圍(0~120V) 80μm/軸
傳感器類型 SGS
通孔尺寸 45×45mm^2
閉 / 開環(huán)分辨率 3nm/1nm
閉環(huán)線性度 0.15%F.S.
閉環(huán)重復定位精度 0.1%F.S.
俯仰 / 偏航 / 滾動 <20μrad
推 / 拉力 20N/4N
運動方向剛度 X0.3N/μm、Y0.25N/μm、Z0.2 N/μm
空載諧振頻率 X200Hz/Y150Hz/Z120Hz
閉 / 開環(huán)空載階躍時間 30ms/0.8ms
承載能力 0.5kg
電容 3.6μF/軸
材質 鋼、鋁
重量 350g
型號 P12A.XYZ200
運動自由度 XYZ
驅動控制 3 路驅動
3 路傳感
標稱行程范圍(0~120V) 160/軸
行程范圍(0~150V) 200/軸
傳感器類型 SGS
閉 / 開環(huán)分辨率 5.5nm/2nm
閉環(huán)線性度 0.5%F.S.
閉環(huán)重復定位精度 0.4%F.S.
空載諧振頻率 X150Hz/Y130Hz/Z90Hz
承載能力 0.3kg
靜電容量 7.2μF/ 軸
材質 鋼、鋁

配套控制器

E70系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是可通過串口、USB或網(wǎng)口進行數(shù)字通信的三通道壓電控制器。輸出電壓0~120V/150V,輸出帶寬達10kHz以上,且體積小,易集成。

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E00/E01系列壓電控制器

芯明天E00/E01系列壓電控制器可用于驅動P12A系列壓電掃描臺,單通道、多通道、開環(huán)、閉環(huán)多種型號可選,可通過模擬、數(shù)字等多種方式進行控制。E00/E01還可通過模塊自由組合,實現(xiàn)驅動芯明天及進口各類壓電產(chǎn)品。

wKgaomV6b_SAKSKKAARIgql1htg884.jpg

審核編輯:湯梓紅

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