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中微公司前三季度營收55億元!新品LPCVD 設(shè)備放量,新增訂單76.4 億元

Monika觀察 ? 來源:電子發(fā)燒友 ? 作者:莫婷婷 ? 2024-11-07 00:03 ? 次閱讀
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電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/莫婷婷)近期,中微公司發(fā)布了2024年前三季度報告,財報顯示公司實現(xiàn)營收 55.07 億元,同比增長36.3%。其中刻蝕設(shè)備收入 44.13 億元,同比增長約 53.77%。第三季度單季的刻蝕設(shè)備收入達(dá)到 17.15 億元,較上年同期增長 49.41%。產(chǎn)品交付和產(chǎn)值再創(chuàng)歷史新高,中微公司預(yù)計2024年預(yù)計新增訂單在 110-130 億元。
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中微公司的主要產(chǎn)品包括刻蝕設(shè)備、MOCVD 設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備,以及VOC 設(shè)備等其他設(shè)備。2024 年前三季度,公司等離子刻蝕設(shè)備收入 44.13 億元,占總收入比80.13%;其中 CCP (電容耦合等離子體刻蝕設(shè)備)收入 23.87 億元,占總收入比 43.33%;ICP (電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備)收入 20.26億元,占總收入比 36.79%。

CCP和ICP是兩類主流的干法刻蝕設(shè)備,國內(nèi)主要廠商有中微公司和華創(chuàng)北方。北方華創(chuàng)是ICP起家。中微公司是CCP起家,2007年研發(fā)了首臺CCP設(shè)備,隨著技術(shù)投入,進入更多半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。僅僅是今年上半年,中微公司累計生產(chǎn)付運超過 3600 個 CCP 刻蝕反應(yīng)臺,新增付運設(shè)備數(shù)量創(chuàng)歷史新高。
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不過凈利潤下滑了21.27%,為9.12億元。對于凈利潤下滑,中微公司表示主要是受到研發(fā)投入增加的影響,前三季度的研發(fā)支出同比增長96.0%。前三季度公司研發(fā)支出 15.44 億元,占公司營業(yè)收入比例約為 28.03%。中微公司表示,“今年,市場對中微開發(fā)多種新設(shè)備的需求急劇增長,2024 年公司顯著加大研發(fā)力度,以盡快補短板,實現(xiàn)趕超?!?br />
先進制程和先進存儲拉動刻蝕設(shè)備的需求的關(guān)鍵,并且對設(shè)備技術(shù)也有更高的要求。資料顯示,先進制程對刻蝕工藝次數(shù)的要求更多,65nm制程、10nm制程、5nm制程分別需要20次、117次、160次刻蝕工藝,且對精確度也有更高的要求。而先進存儲芯片結(jié)構(gòu)逐漸變得復(fù)雜,例如3D NAND層數(shù)不斷增加,則要求刻蝕技術(shù)有更高的深寬比。

在存儲器件制造工藝中,中微公司針對超高深寬比刻蝕自主開發(fā)的具有大功率 400kHz 偏壓射頻的 Primo UD-RIE 已經(jīng)在生產(chǎn)線驗證出具有刻蝕≥60:1 深寬比結(jié)構(gòu)的量產(chǎn)能力。該設(shè)備適用于 DRAM 和 3D NAND 器件制造中最關(guān)鍵的高深寬比刻蝕工藝。

針對ICP設(shè)備,中微公司計劃推出下一代 ICP 刻蝕設(shè)備,以滿足新一代的邏輯、DRAM 和 3D NAND 存儲等芯片制造對 ICP 刻蝕的需求。

在薄膜沉積設(shè)備方面,目前在研發(fā)的薄膜沉積類產(chǎn)品一共有 20 多類,2023 年已經(jīng)付運
客戶端的設(shè)備有 6 類,主要為 CVD/HAR/ALD W 鎢設(shè)備,TiN/TiAI/TaN ALD 設(shè)備。中微公司表示2024年、2025年,公司會新增 10 余類產(chǎn)品交付客戶。

MOCVD 設(shè)備方面,中微公司積極布局用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應(yīng)用的市場,并在 Micro-LED和其他顯示領(lǐng)域的專用 MOCVD 設(shè)備開發(fā)上取得進展,幾款已付運和即將付運的 MOCVD 新產(chǎn)品正在陸續(xù)進入市場。

此外,中微公司的EPI 設(shè)備已順利進入客戶端量產(chǎn)驗證階段,已完成多家先進邏輯器件與 MTM 器件客戶的工藝驗證。

市場需求的增加為中微公司帶來更多的訂單,也是前三季度業(yè)績增長的關(guān)鍵。中微公司前三季度新增訂單76.4 億元,同比增長約 52.0%。其中刻蝕設(shè)備新增訂單 62.5 億元,同比增長約 54.7%;新產(chǎn)品 LPCVD 新增訂單3.0 億元,新產(chǎn)品 LPCVD 設(shè)備首臺銷售收入為 0.28 億元,開始啟動放量。

中微公司表示,根據(jù)客戶訂單需求,前三季度共生產(chǎn)專用設(shè)備 1,160 腔,同比增長 約 310%,對應(yīng)產(chǎn)值約 94.19 億元,同比增長約 287%。

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