Product details
自動拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結構，當必須測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時，都可以采用自動拼接，而中圖儀器SuperView W1 3D形貌輪廓檢測儀器，可根據不同表面特點進行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫”的3D全景。
現有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點，而單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。白光干涉儀實現了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。
SuperView W1 3D形貌輪廓檢測儀器以白光干涉技術為原理，采用經國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數據標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。
技術規(guī)格
SuperView W1 3D形貌輪廓檢測儀器屬于3D測量領域檢測的高精度檢測儀器之一，其在同等系統放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達到其精度要求。
