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摘要：接口電路是懸浮轉子微陀螺研制中的關鍵技術之一。本文對靜電懸浮轉子微陀螺的差分電容結構建立其簡化數(shù)學模型，并結合Sigma—Delta技術的優(yōu)點提出了一種新穎的閉環(huán)檢測電路。該檢測電路能夠直接輸出數(shù)字信號，系統(tǒng)穩(wěn)定性好，對陀螺失效具有自檢特性并且能夠有效避免陀螺的鎖住。與通常采用的調制解調方法相比，該檢測電路大大節(jié)省了器件，因此非常適用于對微陀螺原型進行測試評估。對該檢測電路的仿真結果表明，其靈敏度為2V／g，動態(tài)范圍約為1g。
關鍵詞：Sigma—Delta；MEMS；靜電懸??；微陀螺；閉環(huán)檢測
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