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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>測(cè)試測(cè)量>硅中磷雜質(zhì)的SIMS定量檢測(cè)

      硅中磷雜質(zhì)的SIMS定量檢測(cè)

      2012-02-07 | pdf | 512 KB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      樣品的前期處理工藝會(huì)對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生影響。不同處理工藝得到的樣品,在表面粗糙度方面產(chǎn)生區(qū)別。不同的表面粗糙度,影響到樣品的測(cè)試時(shí)間和測(cè)試精度。同時(shí),通過(guò)儀器調(diào)試,儀器的真空度達(dá)到1×10-10 ?torr,使測(cè)試背底和檢測(cè)限降低。

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