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光刻技術(shù)

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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個(gè)數(shù)量級(jí)(從毫米級(jí)到亞微米級(jí)),已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、 X射線(xiàn)、微離子束、激光等新技術(shù);使用波長(zhǎng)已從4000埃擴(kuò)展到 0.1埃數(shù)量級(jí)范圍。光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。

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光刻技術(shù)資訊

EUV光刻市場(chǎng)高速增長(zhǎng),復(fù)合年增長(zhǎng)率21.8%

EUV掩膜,也稱(chēng)為EUV掩?;駿UV光刻掩膜,對(duì)于極紫外光刻(EUVL)這種先進(jìn)光刻技術(shù)至關(guān)重要。EUV光刻是一種先進(jìn)技術(shù),用于制造具有更小特征尺寸和增...

2023-08-07 標(biāo)簽:半導(dǎo)體器件光刻技術(shù)EUV 966 0

193i光刻技術(shù)再次走向舞臺(tái)中心

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與此相關(guān)的是打印弧形特征而不是直線(xiàn)特征的能力。Levinson說(shuō):”你用曲線(xiàn)特征得到的工藝窗口要比直線(xiàn)近似的好。有一些障礙,人們正在努力解決這些問(wèn)題。但...

2023-06-19 標(biāo)簽:芯片光刻技術(shù)EUV 1335 0

GAA器件結(jié)構(gòu)工藝和挑戰(zhàn)

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中國(guó)科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院是國(guó)家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院。為了提高學(xué)生對(duì)先進(jìn)光刻技術(shù)的理解,本學(xué)期集成電路學(xué)院開(kāi)設(shè)了《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)...

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中國(guó)的先進(jìn)封裝技術(shù)取得突破

由于無(wú)法獲得尖端光學(xué)光刻技術(shù),中國(guó)芯片的制造工程目前限制在14納米,為了獲得更小的芯片、更強(qiáng)的性能,突破尖端包裝技術(shù)更為重要。此前,toff micro...

2023-06-01 標(biāo)簽:芯片封裝光刻技術(shù) 3389 0

光刻技術(shù)再次升級(jí)了

中國(guó)在半導(dǎo)體芯片制造方面仍落后于美國(guó)。早在上世紀(jì)60年代,美國(guó)就開(kāi)始占據(jù)世界半導(dǎo)體市場(chǎng)的絕對(duì)主導(dǎo)地位。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體芯片的制造越來(lái)越精細(xì)化。...

2023-06-01 標(biāo)簽:納米技術(shù)光刻技術(shù)半導(dǎo)體芯片 1069 0

NVIDIA H100 GPU為2nm芯片加速計(jì)算光刻!

現(xiàn)代工藝技術(shù)將晶圓廠設(shè)備要求推向極限,需要實(shí)現(xiàn)突破其物理極限的高分辨率,這正是計(jì)算光刻技術(shù)發(fā)揮作用的地方。計(jì)算光刻就是為芯片生產(chǎn)制作光掩模的技術(shù),它結(jié)合...

2023-04-26 標(biāo)簽:芯片NVIDIA光刻技術(shù) 1642 0

淺談光刻技術(shù)

在整個(gè)芯片制造過(guò)程中,幾乎每一道工序的實(shí)施都離不開(kāi)光刻技術(shù)。光刻技術(shù)也是制造芯片最關(guān)鍵的技術(shù),占芯片制造成本的35%以上。

2023-04-26 標(biāo)簽:半導(dǎo)體晶圓芯片制造 1868 0

中國(guó)科學(xué)院大學(xué)在近場(chǎng)光學(xué)鄰近效應(yīng)研究中獲得進(jìn)展

為滿(mǎn)足集成電路中對(duì)納米結(jié)構(gòu)器件的尺寸及質(zhì)量的高性能要求,有效地解決表面等離子體光刻技術(shù)中存在的near-field OPE問(wèn)題,中國(guó)科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)...

2023-04-18 標(biāo)簽:集成電路光刻技術(shù)結(jié)構(gòu)器件 1099 0

AI輔助制芯技術(shù),將計(jì)算光刻提速40倍

黃仁勛稱(chēng),英偉達(dá)經(jīng)過(guò)與臺(tái)積電、ASML、Synopsys(新思科技)三大半導(dǎo)體巨頭的多年合作,終于推出了這一技術(shù),大大降低芯片代工廠在這一工序上所消耗的...

2023-03-24 標(biāo)簽:AI光刻技術(shù)英偉達(dá) 2284 0

GTC 2023:NVIDIA cuLitho將加速計(jì)算引入計(jì)算光刻技術(shù)領(lǐng)域的突破性成果

GTC 2023:NVIDIA cuLitho將加速計(jì)算引入計(jì)算光刻技術(shù)領(lǐng)域的突破性成果

GTC 大會(huì):NVIDIA cuLitho將加速計(jì)算引入計(jì)算光刻技術(shù)領(lǐng)域的突破性成果 在摩爾定律接近物理極限之際,半導(dǎo)體行業(yè)要怎么做?借助AI? 現(xiàn)在半...

2023-03-22 標(biāo)簽:摩爾定律NVIDIA光刻技術(shù) 1.1萬(wàn) 0

納米壓印光刻,能讓國(guó)產(chǎn)繞過(guò)ASML嗎?

日本最寄望于納米壓印光刻技術(shù),并試圖靠它再次逆襲,日經(jīng)新聞網(wǎng)也稱(chēng),對(duì)比EUV光刻工藝,使用納米壓印光刻工藝制造芯片,能夠降低將近四成制造成本和九成電量,...

2023-03-22 標(biāo)簽:芯片光刻技術(shù)ASML 3325 0

下一代EUV***,關(guān)鍵技術(shù)拆解!

但imec先進(jìn)成像、工藝和材料高級(jí)副總裁斯蒂芬·希爾(Steven Scheer)在接受采訪時(shí)非常理性地指出,要經(jīng)濟(jì)高效地引入High NA EUV光刻...

2023-03-17 標(biāo)簽:光刻機(jī)光刻技術(shù)EUV 1773 0

超精細(xì)石墨烯圖案的雙光束超快激光直寫(xiě)制作技術(shù)

最近,基于超分辨率熒光顯微技術(shù)這一諾貝爾獎(jiǎng)級(jí)成果,科學(xué)家報(bào)道了一種應(yīng)用于光刻膠的雙光束激光光刻技術(shù)。這里使用一道甜甜圈形狀的環(huán)形光束,來(lái)抑制寫(xiě)入光束所觸...

2023-02-15 標(biāo)簽:激光石墨烯光刻技術(shù) 1887 0

一種通過(guò)軟光刻技術(shù)制造剛性微流控器件的詳細(xì)方案

軟光刻技術(shù)可通過(guò)在可變形彈性體(例如聚二甲基硅氧烷(PDMS))上使用光刻圖形化模具,實(shí)現(xiàn)具有精確特征的微流控器件快速成型(rapid prototyp...

2023-02-14 標(biāo)簽:壓力傳感器光刻技術(shù)PDMS薄膜 3624 0

EUV光刻的兩大挑戰(zhàn)者,誰(shuí)扛大旗?

過(guò)去二十年見(jiàn)證了193 nm以下波長(zhǎng)光刻技術(shù)的發(fā)展。在使用 F2 準(zhǔn)分子激光器開(kāi)發(fā)基于 157 納米的光刻技術(shù)方面付出了一些努力,但主要關(guān)注點(diǎn)是使用 1...

2023-02-02 標(biāo)簽:摩爾定律光刻技術(shù)EUV 3504 0

數(shù)十年的光刻技術(shù),High-NA EUV或成為終點(diǎn)?

盡管EUV的生產(chǎn)力還沒(méi)有達(dá)到客戶(hù)的預(yù)期,但幾年來(lái),EUV 已經(jīng)成為世界上最先進(jìn)芯片的生產(chǎn)過(guò)程中不可或缺的一部分。

2022-09-28 標(biāo)簽:光刻技術(shù)EUV 999 0

光刻技術(shù)的原理及其難點(diǎn)分別是什么

光刻就是把芯片制作所需要的線(xiàn)路與功能區(qū)做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光。

2022-09-13 標(biāo)簽:集成電路光刻技術(shù)EUV 7148 0

一種3D打印新工藝——3D打印高性能的碳微晶格電池電極

當(dāng)人們意識(shí)到汽油動(dòng)力機(jī)器和車(chē)輛對(duì)環(huán)境的負(fù)面影響時(shí),似乎只要改用電池就可以解決這些問(wèn)題了。從那時(shí)起,似乎沒(méi)有人質(zhì)疑這種新的、所謂完全環(huán)保的選擇。然而,沒(méi)過(guò)...

2022-08-23 標(biāo)簽:電極光刻技術(shù)3D打印機(jī) 1153 0

ASML下一代EUV光刻機(jī)High-NA來(lái)了!

對(duì)于3nm后的節(jié)點(diǎn),ASML及其合作伙伴正在研究一種全新的EUV工具——Twinscan EXE:5000系列,具有0.55 NA(High-NA)透鏡...

2022-08-17 標(biāo)簽:分辨率光刻技術(shù)ASML 2662 0

光刻的基礎(chǔ)內(nèi)容

負(fù)性光刻膠。樹(shù)脂是聚異戊二烯,一種天然的橡膠;溶劑是二甲苯;感光劑是一種經(jīng)過(guò)曝光后釋放出氮?dú)獾墓饷魟a(chǎn)生的自由基在橡膠分子間形成交聯(lián)。從而變得不溶于顯...

2022-06-22 標(biāo)簽:光刻技術(shù)光刻膠 1916 0

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放大器 運(yùn)算放大器 差動(dòng)放大器 電流感應(yīng)放大器 比較器 儀表放大器 可變?cè)鲆娣糯笃? 隔離放大器
時(shí)鐘 時(shí)鐘振蕩器 時(shí)鐘發(fā)生器 時(shí)鐘緩沖器 定時(shí)器 寄存器 實(shí)時(shí)時(shí)鐘 PWM 調(diào)制器
視頻放大器 功率放大器 頻率轉(zhuǎn)換器 揚(yáng)聲器放大器 音頻轉(zhuǎn)換器 音頻開(kāi)關(guān) 音頻接口 音頻編解碼器
模數(shù)轉(zhuǎn)換器 數(shù)模轉(zhuǎn)換器 數(shù)字電位器 觸摸屏控制器 AFE ADC DAC 電源管理
線(xiàn)性穩(wěn)壓器 LDO 開(kāi)關(guān)穩(wěn)壓器 DC/DC 降壓轉(zhuǎn)換器 電源模塊 MOSFET IGBT
振蕩器 諧振器 濾波器 電容器 電感器 電阻器 二極管 晶體管
變送器 傳感器 解析器 編碼器 陀螺儀 加速計(jì) 溫度傳感器 壓力傳感器
電機(jī)驅(qū)動(dòng)器 步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器 TWS BLDC 無(wú)刷直流驅(qū)動(dòng)器 濕度傳感器 光學(xué)傳感器 圖像傳感器
數(shù)字隔離器 ESD 保護(hù) 收發(fā)器 橋接器 多路復(fù)用器 氮化鎵 PFC 數(shù)字電源
開(kāi)關(guān)電源 步進(jìn)電機(jī) 無(wú)線(xiàn)充電 LabVIEW EMC PLC OLED 單片機(jī)
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Type-C USB 以太網(wǎng) 仿真器 RISC RAM 寄存器 GPU
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