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標簽 > 光刻膠
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。
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? 電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道 光刻膠作為芯片制造光刻環(huán)節(jié)的核心耗材,尤其高端材料長期被日美巨頭壟斷,國外企業(yè)對原料和配方高度保密,我國九成以上光刻膠依賴進口...
半導體材料介紹 | 光刻膠及生產(chǎn)工藝重點企業(yè)
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增...
? 電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道 光刻膠作為芯片制造光刻環(huán)節(jié)的核心耗材,尤其高端材料長期被日美巨頭壟斷,國外企業(yè)對原料和配方高度保密,我國九成以上光刻膠依賴進口...
光刻膠,又稱光致抗蝕劑,是一種關鍵的耐蝕劑刻薄膜材料。它在紫外光、電子束、離子束、X 射線等的照射或輻射下,溶解度會發(fā)生變化,主要應用于顯示面板、集成電...
2025-07-11 標簽:光刻膠 46 0
金屬低蝕刻率光刻膠剝離液組合物應用及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體及微納制造領域,光刻膠剝離工藝對金屬結構的保護至關重要。傳統(tǒng)剝離液易造成金屬過度蝕刻,影響器件性能。同時,光刻圖形的精確測量是保障工藝質量...
引言 在芯片制造過程中,光刻膠剝離是關鍵環(huán)節(jié),而傳統(tǒng)剝離液易對芯片金屬層造成腐蝕,影響器件性能。同時,光刻圖形的精確測量對芯片制造工藝的優(yōu)化至關重要。本...
光刻膠圖案化方法及光刻膠剝離方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體制造與微納加工領域,光刻膠的圖案化和剝離是形成精確圖形結構的關鍵步驟,而光刻圖形的準確測量則是確保工藝質量的重要環(huán)節(jié)。本文將詳細介紹光刻膠...
金屬低刻蝕的光刻膠剝離液及其應用及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體制造與微納加工領域,光刻膠剝離是重要工序。傳統(tǒng)剝離液常對金屬層產(chǎn)生過度刻蝕,影響器件性能。同時,光刻圖形的精確測量也是確保制造質量的關鍵。...
減少光刻膠剝離工藝對器件性能影響的方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
? ? 引言 ? 在半導體制造領域,光刻膠剝離工藝是關鍵環(huán)節(jié),但其可能對器件性能產(chǎn)生負面影響。同時,光刻圖形的精確測量對于保證芯片制造質量至關重要。本文...
一、光刻工藝概述 光刻工藝是半導體制造的核心技術,通過光刻膠在特殊波長光線或者電子束下發(fā)生化學變化,再經(jīng)過曝光、顯影、刻蝕等工藝過程,將設計在掩膜上的圖...
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