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標簽 > 白光干涉儀

白光干涉儀

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干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。

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白光干涉儀簡介

  干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。

  光的干涉是指從目標對象表面到某點的光距(光路)產(chǎn)生偏差時,所發(fā)生的現(xiàn)象。利用這種現(xiàn)象測量目標對象表面凹凸的就是光學干涉儀。右圖是干涉應變計的結構圖。從光源(半導體激光等)發(fā)出的光有一些透過分光鏡到達參考面上,其余被反射到樣本表面。透過的光經(jīng)參考面反射通過光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光經(jīng)目標對象表面反射透過分光鏡,同樣通過光接收元件即CCD元件成像。

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