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標(biāo)簽 > 芯片制造
《芯片制造》是2010年8月1日電子工業(yè)出版社出版的圖書,作者是(美國)贊特。本書介紹了半導(dǎo)體工藝的制作制程、誕生、發(fā)展、半導(dǎo)體材料和化學(xué)品的性質(zhì)等方面闡述。
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在指甲蓋大小的芯片上,數(shù)百億晶體管需要通過比頭發(fā)絲細(xì)千倍的金屬線連接。當(dāng)制程進(jìn)入130納米節(jié)點時,傳統(tǒng)鋁互連已無法滿足需求——而銅(Cu) 的引入,如同...
在指甲蓋大小的硅片上建造包含數(shù)百億晶體管的“納米城市”,需要極其精密的工程規(guī)劃。分層制造工藝如同建造摩天大樓:先打地基(晶體管層),再逐層搭建電路網(wǎng)絡(luò)(...
熱波系統(tǒng)通過激光誘導(dǎo)熱效應(yīng)與晶格缺陷的關(guān)聯(lián)性實現(xiàn)摻雜濃度評估。其核心機(jī)制為:氬泵浦激光經(jīng)雙面鏡聚焦于晶圓表面,通過光熱效應(yīng)產(chǎn)生周期性熱波,導(dǎo)致局部晶格缺...
當(dāng)晶體管柵長縮至20納米以下,源漏極間可能形成隱秘的電流通道,導(dǎo)致晶體管無法關(guān)閉。而暈環(huán)注入(Halo Implant) 技術(shù),正是工程師們設(shè)計的原子級...
微振控制在現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50472中有關(guān)微振控制的規(guī)定主要有:潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計分階段進(jìn)行,應(yīng)包括設(shè)計、施工和投...
自對準(zhǔn)雙重圖案化技術(shù)的優(yōu)勢與步驟
在芯片制造中,光刻技術(shù)在硅片上刻出納米級的電路圖案。然而,當(dāng)制程進(jìn)入7納米以下,傳統(tǒng)光刻的分辨率已逼近物理極限。這時, 自對準(zhǔn)雙重圖案化(SADP) 的...
在指甲蓋大小的芯片上,數(shù)十億晶體管需要通過比頭發(fā)絲細(xì)千倍的金屬線連接。隨著制程進(jìn)入納米級,一個看似微小的細(xì)節(jié)——連接晶體管與金屬線的"接觸孔&...
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