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MEMS傳感器

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MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。

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MEMS傳感器簡介

  MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年,全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作,已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品,其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

MEMS傳感器百科

  MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年,全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作,已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品,其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

  分類

  MEMS氣體流量傳感器:高精度,檢測流量范圍廣,適用于各種需求的流量計測。

  MEMS壓力傳感器:性能偏差小的MEMS壓力傳感器。

  MEMS非接觸溫度傳感器:對靜止人體也能檢測,高靈敏度的人體感應(yīng)傳感器。

  MEMS開關(guān):高頻,小型,長壽命的MEMS開關(guān)。

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mems傳感器知識

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mems傳感器技術(shù)

mems傳感器在消費電子中的應(yīng)用有哪些

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MEMS傳感器是一種微型電子機械系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems)傳感器,它將傳感器和微機電系統(tǒng)集成在一起,利用微...

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SFLP低功耗傳感器融合在消費電子領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用場景;例如游戲手柄、賽車、AR/VR/MR的游戲裝備空間姿態(tài)檢測;在可穿戴領(lǐng)域,如手表中的運動實時檢測...

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MEMS傳感器,為“聰明車”裝上“智慧眼”

近日,在中國電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院河北美泰電子科技有限公司,工作人員正在進行研發(fā)。? 4月23日7時,家住石家莊市裕華區(qū)的90后小伙兒何濱像往常一樣,開上剛...

2025-06-07 標簽:MEMS傳感器 163 0

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迷思科技獲數(shù)千萬元A輪融資,加速MEMS傳感器芯片創(chuàng)新

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2025-02-20 標簽:芯片MEMS傳感器智能手表 921 0

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? 近年來,機器人領(lǐng)域發(fā)展持續(xù)火熱,作為機器人重要感知源頭,相關(guān)傳感器賽道亦備受關(guān)注。本論文來自《智能感知工程》, 主要探討了MEMS傳感器在機器人領(lǐng)域...

2025-04-15 標簽:機器人MEMS傳感器 452 0

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