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MEMS技術是一種制造技術,MEMS技術把電子和機械特性結合了起來,可以同時執(zhí)行物理、化學、生物等方面的功能,因為它能同時發(fā)生化學反應和電作用。它實質(zhì)上是終極的片上系統(tǒng),是科學和技術的終極融合,而且生物也可以與之兼容。

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