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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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優(yōu)化導航系統(tǒng)中的MEMS IMU數(shù)據(jù)一致性和時序
PNT專家Dana Goward在近期的一篇社論中指出,如今社會極度依賴GPS提供的位置導航授時服務(wù)(PNT)?,F(xiàn)有GPS/GNSS PNT服務(wù)面臨著一...
2025-07-11 標簽:mems導航系統(tǒng)IMU 587 0
在MEMS制造工藝中,干法刻蝕是通過等離子體、離子束等氣態(tài)物質(zhì)對薄膜材料或襯底進行刻蝕的工藝,其評價參數(shù)直接影響器件的結(jié)構(gòu)精度和性能。那么干法刻蝕有哪些...
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計是一款超低功耗、±400g微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計,以2560Hz...
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計是一款超低功耗、3軸微機電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計,在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...
傾角計是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機,從保障安全的工程機械到預警地質(zhì)災害的系統(tǒng),都能看到它的身影。MEMS傾角...
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計,具有可選...
在 MEMS(微機電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機將...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),采用An...
鉆井與測井作業(yè)對定向和井眼軌跡控制要求較高,傳統(tǒng)光纖陀螺儀和磁性測斜儀體積大、抗干擾能力弱、成本高。MEMS陀螺儀憑借其微型化、高可靠性和環(huán)境適應(yīng)性,成...
應(yīng)用場景MEMS傳感器在打氣泵中的應(yīng)用主要集中在壓力監(jiān)測和流量控制方面。通過集成MEMS壓力傳感器和流量傳感器,打氣泵可以實現(xiàn)更精準的氣壓控制和流量調(diào)節(jié)...
MEMS陀螺儀的尋北技術(shù)核心原理基于地球自轉(zhuǎn)特性,通過測量角速度分量解算出地理北向。隨著MEMS技術(shù)的不斷進步,MEMS陀螺儀性能也在不斷提升,已經(jīng)具備...
Analog Devices Inc. ADXL382 3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADXL382 3軸MEMS加速度計支持±15g、±30g和±60g的可選測量范圍。這款3軸加速度計具備低噪聲密度和低功耗...
ADGM1304具有集成驅(qū)動器的0 Hz/直流至14GHz單刀四擲MEMS交換芯片技術(shù)手冊
ADGM1304 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實現(xiàn)小尺寸、寬 RF 帶寬...
ADGM1004帶集成驅(qū)動器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1004是一款寬帶、單刀四擲(SP4T)開關(guān),采用ADI公司的微型機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)制造而成。利用該技術(shù)可實現(xiàn)小型、寬RF帶寬、高線性...
ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1001/[ADGM1002]/[ADGM1003]是一款寬帶、單刀雙擲(SP2T)開關(guān),采用ADI公司的微型機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)制造而...
ADGM1144 0 Hz/DC至18 GHz、SP4T、MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1144 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
ADGM1121 0 Hz/DC 至 18 GHz,DPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1121 是一款寬帶雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
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