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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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作為20世紀最偉大的發(fā)明之一,激光器已經(jīng)走過了50多年,飛秒量級的激光脈沖在20世紀70年代首先在染料激光器中實現(xiàn)。
哪些半導體工藝、細分市場以及激光器類型,將驅(qū)動激光設(shè)備市場增長?
半導體產(chǎn)業(yè)的激光應(yīng)用越來越廣泛且多樣化。多種激光技術(shù)已經(jīng)整合進入許多重要的半導體工藝中。
InvenSense這款7軸運動傳感器ICM-20789將InvenSense領(lǐng)先的6軸(3軸加速度計+3軸陀螺儀)MEMS運動傳感器和其世界級氣壓傳感...
一款可靠且高效的固態(tài)LiDAR——大陸集團的SRL1
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,激光雷達SRL1無需任何機械運動部件即可實現(xiàn)正面碰撞檢測等應(yīng)用。SRL1提供基于紅外激光技術(shù)的緊急制動輔助功能,且已經(jīng)在微型車上使用。
麥姆斯咨詢:由于仍沒有找到合適的買家或合作伙伴,博世將關(guān)停MEMS麥克風子公司Akustica(阿庫斯蒂克)。
2017-10-16 標簽:mems 5581 0
TowerJazz和Crocus合作量產(chǎn)TMR磁傳感器
據(jù)麥姆斯咨詢報道,TowerJazz和TMR磁傳感器技術(shù)及嵌入式MRAM(磁隨機存儲器)領(lǐng)先開發(fā)商Crocus公司,近日共同宣布雙方將利用TowerJa...
MEMS陀螺儀工作原理及創(chuàng)新應(yīng)用
EMS陀螺儀并不是最早應(yīng)用在消費電子上的運動傳感器,加速度傳感器、電子羅盤早先一步進入了消費電子市場。
一直以創(chuàng)新為極致追求的村田,早在2012年就通過并購芬蘭的MEMS巨頭公司VTI,而擴充了MEMS傳感器領(lǐng)域產(chǎn)品。
由上海微技術(shù)工業(yè)研究院構(gòu)建的國內(nèi)首條,全球領(lǐng)先,兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式向業(yè)界發(fā)聲,在打造中國完整的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)上,旨在進一步推動中...
2017-09-28 標簽:mems 6639 0
國內(nèi)暖通制冷領(lǐng)域的領(lǐng)導者盾安
在生產(chǎn)和應(yīng)用過程中,MEMS壓力傳感器的缺點也表現(xiàn)地較為突出。例如MEMS晶圓芯體生產(chǎn)工藝相對復雜;在不銹鋼充油和倒裝焊技術(shù)中,中高壓封裝成本較高等。
2017-09-25 標簽:mems 3936 0
ST有新的改變嘍,比如在OPENMEMS頁面下的算法庫鏈接都變成了下面這樣,不僅算法種類有了極大的豐富(增加了AC, AW, EC, FA, FX, G...
2017-09-21 標簽:mems 4519 0
徹底顛覆機電繼電器,MEMS開關(guān)告訴你怎樣實現(xiàn)這一切?
過去30年來,MEMS開關(guān)一直被認為是性能有限的機電繼電器的出色替代器件,因為它易于使用,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GHz...
2017-09-01 標簽:mems世健系統(tǒng)MEMS開關(guān) 1.4萬 0
解決大問題需要開創(chuàng)性的技術(shù)。機電繼電器早在電報問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關(guān)技術(shù)可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務(wù)、醫(yī)療保健...
相信你畫過很多電路的話,接觸過很多芯片的話,應(yīng)該有些芯片是你覺得歷史中最重要的,足以影響整個世界的。
MEMS麥克風含一個可移動的膜片和靜態(tài)背板,采用常見的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔,允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設(shè)計是為...
新型MEMS加速度計與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計的比較
今天我們將通過回顧一些數(shù)據(jù)來說明MEMS技術(shù)的發(fā)展狀況及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計進行比較。
淺談MEMS在狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的優(yōu)勢
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素,我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域...
2018-07-07 標簽:傳感器mems狀態(tài)監(jiān)控 844 0
今天我們將通過回顧一些數(shù)據(jù)來說明MEMS技術(shù)的發(fā)展狀況及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計進行比較。
2018-07-07 標簽:mems狀態(tài)監(jiān)控 2727 0
一文探討運動傳感器的技術(shù)挑戰(zhàn)和復雜程度(測量/提升/保障生)
討論MEMS與生活品質(zhì)的關(guān)系時,定義如下的不同程度或階段可能會有用:從測量、提升到保障。慣性傳感器能夠測量、捕捉或估計人體的輸出/健康狀況,因而與音頻和...
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