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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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如何利用LTspice輕松模擬工程電源與MEMS信號鏈設(shè)計
一般的共享電源和數(shù)據(jù)接口經(jīng)過編碼,可減少信號直流成分,從而在發(fā)送交流信號成分時簡化系統(tǒng)設(shè)計。但是,許多數(shù)字輸出傳感器接口(例如,SPI和I2C)尚未經(jīng)過...
你怎么知道你在哪里?什么是真實的?這是傳感器融合應(yīng)該回答的問題。不是以哲學(xué)的方式,而是字面上的“我會自動撞入白宮嗎?因為我被告知不要這樣做”,這種方式內(nèi)...
人形機(jī)器人市場仍然處于研發(fā)階段,技術(shù)上還沒有完全收斂,各種技術(shù)、路線、方式、傳感器的性能、精度、使用數(shù)量尚未完全確定。
數(shù)字鏡陣列 (DMD) 或微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 由一組小型矩形反射鏡組成。每個鏡子可以有不同的傾斜度。
2024-03-04 標(biāo)簽:memsdll微機(jī)電系統(tǒng) 1659 0
我在上一篇關(guān)于MEMS壓力傳感器的博客中,談到了從手表到復(fù)雜機(jī)械等眾多設(shè)備中的HMI傳感器如何改變了我們獲取信息以及與技術(shù)交互的方式。過去,許多設(shè)備上只...
磁強(qiáng)計是如何定義的?磁強(qiáng)計有哪些分類?
磁強(qiáng)計(Magnetic Field Sensor)也稱磁場傳感器(Magnetometer),是一種測量環(huán)境磁感應(yīng)強(qiáng)度與方向的傳感器。
基于ST 紅外傳感器STHS34PF80 搭配菲涅爾透鏡針對投影機(jī)應(yīng)用方案
STHS34PF80 是一款紅外線感測器,可用于偵測靜止和移動物體的存及超溫條件。它采用獨特的 TMOS 技術(shù)測量物體的紅外線輻射,當(dāng)物體位于視野內(nèi)時檢...
如何設(shè)計用于牲畜監(jiān)測、車隊管理和工業(yè) 4.0 物流的多重連接跟蹤系統(tǒng)
作者:Jeff Shepard 投稿人:DigiKey 北美編輯 對于牲畜管理等農(nóng)業(yè)經(jīng)營活動、食品和藥品冷鏈倉儲、車隊管理,以及工業(yè) 4.0 靈活生產(chǎn)操...
作者:Jeff Smoot 是 CUI Devices 應(yīng)用工程和運(yùn)動控制部門副總裁 使用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 麥克風(fēng),就有可能將復(fù)雜的通信和監(jiān)測功能...
高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域,用來監(jiān)測航空發(fā)動機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動力設(shè)備燃燒室內(nèi)的壓力,耐高溫和高可靠性是對其最基本的要求。
膜厚測試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要,它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量,更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì),精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
基于高溫退火非極性面氮化鋁單晶薄膜實現(xiàn)高性能聲學(xué)諧振器開發(fā)
氮化鋁(AlN)以其超寬禁帶寬度(~6.2 eV)和直接帶隙結(jié)構(gòu),與氧化鎵、氮化硼、金剛石等半導(dǎo)體材料被并稱為超寬禁帶半導(dǎo)體,與氮化鎵、碳化硅等第三代半...
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