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標(biāo)簽 > CVD
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硅氧負(fù)極的工藝流程 CVD法的核心優(yōu)勢(shì)
從本質(zhì)上分析硅氧負(fù)極循環(huán)壽命更好的原理是:硅氧負(fù)極技術(shù)路線多用氧化亞硅,相較于單質(zhì)硅顆粒,氧化亞硅(SiOx)在鋰嵌入過(guò)程中發(fā)生的體積膨脹較小,其循環(huán)穩(wěn)...
2022-09-29 標(biāo)簽:CVD 1.4萬(wàn) 0
為了降低接觸電阻和串聯(lián)電阻,在集成電路制造中引入了硅化物工藝,業(yè)界先后采用了可規(guī)模生產(chǎn)的 WSi2 、TiSi2、CoSi2、NiSi 等工藝。
2022-11-21 標(biāo)簽:串聯(lián)電阻CVD集成電路芯片 1.1萬(wàn) 0
Producer Black Diamond 3 系統(tǒng)設(shè)計(jì)為可與 應(yīng)用材料公司的 Producer Nanocure 3 UV 固化系統(tǒng)配合使用。Nan...
刻蝕速率是測(cè)量刻蝕物質(zhì)被移除的速率。由于刻蝕速率直接影響刻蝕的產(chǎn)量,因此刻蝕速率是一個(gè)重要參數(shù)。
Hello,大家好,今天來(lái)分享下半導(dǎo)體FAB中常見(jiàn)的五種CVD工藝。 化學(xué)氣相沉積(CVD)主要是通過(guò)利用氣體混合的化學(xué)反應(yīng)在硅片表面沉積一層固體膜的工...
化學(xué)氣相沉積 (CVD) 能夠生產(chǎn)出兼具高質(zhì)量、高純度及高強(qiáng)度等優(yōu)點(diǎn)的材料,因此在半導(dǎo)體行業(yè)非常受歡迎。超高真空化學(xué)氣相沉積涉及相當(dāng)復(fù)雜的設(shè)備和極高的溫...
碳化硅襯底有諸多缺陷無(wú)法直接加工,需要在其上經(jīng)過(guò)外延工藝生長(zhǎng)出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓,這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實(shí)現(xiàn),...
低頻功率時(shí),離子所獲得的能量比在高頻功率獲得的能量稍高。低頻使離子有較多的反應(yīng)時(shí)間,所以能把離子加速到具有較高的能量,也因此能夠提供更多的能量在離子轟擊上。
2022-12-07 標(biāo)簽:電容耦合電磁場(chǎng)CVD 4193 0
如何通過(guò)CVD實(shí)現(xiàn)單晶石墨烯的批量合成
說(shuō)起石墨烯,幾乎家喻戶曉,其優(yōu)異的機(jī)械和電學(xué)性能引起全世界科學(xué)家們瘋狂的追捧。盡管目前在實(shí)驗(yàn)室中小尺寸的石墨烯單晶制備及其應(yīng)用研究已經(jīng)獲得了長(zhǎng)足的進(jìn)步,...
接觸孔工藝是集成電路制造中的關(guān)鍵工藝,也是技術(shù)難度最高的工藝之一。接觸孔的尺寸是集成電路工藝中最小的尺寸之一,是決定芯片面積的關(guān)鍵尺寸。
前言 碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈包含碳化硅粉末、碳化硅晶錠、碳化硅襯底、碳化硅外延、碳化硅晶圓、碳化硅芯片和碳化硅器件封裝環(huán)節(jié)。其中襯底、外延片、晶圓、器件封測(cè)是碳化...
隨著工業(yè)的發(fā)展,金屬薄膜已經(jīng)廣泛應(yīng)用于社會(huì)生產(chǎn)生活中,如:糖果包裝、藥品膠囊包裝、佛像貼金、以及宮殿裝飾等等。
簡(jiǎn)述基于金剛石量子技術(shù)的醫(yī)療成像應(yīng)用
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,量子態(tài)的獨(dú)特性能為開(kāi)發(fā)測(cè)量磁場(chǎng)、溫度和電場(chǎng)等變量的高靈敏傳感器提供了巨大潛力。不過(guò),至今該技術(shù)的應(yīng)用仍存在局限性,因?yàn)榱孔討B(tài)(量子比特...
Novellus正在悄悄地開(kāi)發(fā)用于銅的旋轉(zhuǎn)低k,以防萬(wàn)一
應(yīng)用,Novellus正在悄悄地開(kāi)發(fā)用于銅的旋轉(zhuǎn)低k,以防萬(wàn)一 慕尼黑 - 您認(rèn)為IBM公司周一宣布在0.13微米銅IC中使用旋涂低k電介質(zhì)材料將是Ap...
2020-02-12 標(biāo)簽:CVD電介質(zhì)華強(qiáng)pcb線路板打樣 3864 0
二氧化釩(VO?)材料是一種具有絕緣態(tài)到金屬態(tài)可逆相變特性的材料,在光器件及信息技術(shù)中有非常廣泛的應(yīng)用。
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